太陽電池制造是產業中最重要的一環，對于太陽電池制造商來說，增效降本始終是其追求的目標。如何從技術角度提高太陽電池轉換效率，是在電池生產中不斷探求解決方案的過程。

當前，PERC太陽電池量產轉換效率已達到21.5%，主要得益于其背表面優異的鈍化效果（氧化鋁或氧化硅薄膜等）。對于其下一步提效方向,即降低正表面復合速率，其中SE結構（Selective Emitter）是達到此效果的重要技術。目前，實現SE結構的技術手段包括: 掩膜法、印刷磷源法、激光方式、硅墨技術、反蝕法等。對于PERC電池產線而言，激光PSG摻雜技術工藝過程最為簡單，工藝流程中只需增加激光摻雜一個步驟；從設備上說，也只需增加摻雜用激光設備即可，與常規產線兼容性強，是行業研究熱點。因此，PERC太陽電池疊加激光SE技術，成為當下各家光伏大廠提效的主要手段。

激光摻雜技術原理：

激光摻雜技術是在金屬柵線（電極）與硅片接觸部分進行重摻雜，而電極以外位置保持輕摻雜（低濃度摻雜）。通過熱擴散方式，在硅片表面進行預擴散，形成輕摻雜；同時表面PSG作為局部激光重摻雜源，通過激光局部熱效應，PSG中磷原子二次快速擴散至硅片內部，形成局部重摻雜區。配合激光高精度圖形化，可實現與后續絲網印刷完美套印效果。

激光摻雜示意圖

激光局部摻雜即SE技術，主要有以下優勢：

1）降低太陽電池串聯電阻，提升FF；

2）減少表面復合，提高表面鈍化效果；

3）表面低濃度擴散，提高了電池短波響應，提高短路電流和開路電壓。

                          

① 傳統結構電池                                            ② SE結構電池

激光摻雜的優點：

1）僅需激光圖形化一步即可完成，工藝流程簡單；

2）局部激光熱效應，最大限度降低高溫對硅本體熱損傷；

3）激光加工過程簡單、無需化學處理，無污染。